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氦質譜檢漏技術是真空檢漏領域里不可缺少的一種技術，由于檢漏效率高，簡便易操作，儀器反應靈敏，精度高，不易受其他氣體的干擾，在電阻爐檢漏中得到了廣泛應用。氦質譜檢漏儀的真空系統(tǒng)是由哪些設備組合而成的呢？氦質譜檢漏儀的分類和正確的保養(yǎng)方法都是本篇文章重點介紹的內容，當然，還要給大家闡述下真空系統(tǒng)在氦質譜檢漏儀中的應用情況。

氮質譜檢漏儀是用氦氣為示漏氣體的專門用于檢漏的儀器，由離子源、分析器、收集器、冷陰極電離規(guī)組成的質譜室和抽氣系統(tǒng)及電氣部分等組成。其分類有：①單級磁偏轉型氦質譜檢漏儀，②雙級串聯(lián)磁偏轉型氦質譜檢漏儀，③逆流氦質譜檢漏儀這三種。

氦質譜檢漏儀的優(yōu)勢特點

1.采用便攜式設計

2.設備外型美觀小巧

3.采用液晶觸摸屏設計

4.有通訊接口

5.可以方便地將檢漏數據輸出

關于真空系統(tǒng)在氦質譜檢漏儀中的應用情況，由東莞市普諾克真空科技有限公司進行整理。

氦質譜檢漏儀的真空系統(tǒng)部分由分子泵、前級機械泵組成。

普諾克真空系統(tǒng)的特點為：

1.低噪音、低振動。

2.空氣冷卻，方便容易。

3.在高溫環(huán)境下仍良好運作。

4.在低真空壓力下仍保持良好抽氣速度。

5.內置濾心和過濾器，可達高度過濾效果。

6.內置單向閥門，防止真空油逆流。

7.結構簡單，體積小，節(jié)省空間。

8.多功能概念，可配合客戶的特別配置。

9.容易保養(yǎng)。

在常規(guī)檢測時通常由前級機械泵對被檢件預抽真空，當真空度達到一定壓力后，再進入真空系統(tǒng)部分；被檢件在檢測前會被要求進行清潔前處理，以防止粉塵、顆粒物等污染物進入真空系統(tǒng)；否則將直接污染真空系統(tǒng)，甚至造成真空泵損壞；所以被檢件的清潔前處理及對設備自身定期的保養(yǎng)清理尤為重要。

設備自身保養(yǎng)小知識

（1）前級真空泵的定期換油及深度保養(yǎng)；

（2）電磁閥組的超聲清洗；

（3）質譜模塊組件的超聲清洗以及分子泵的定期保養(yǎng)維護。

東莞普諾克真空科技有限公司專注于真空行業(yè)，是一家集設計、研發(fā)、產銷為一體的真空設備專業(yè)性企業(yè)。本公司專業(yè)從事中央真空系統(tǒng)設計及安裝、真空系統(tǒng)控制、真空負壓系統(tǒng)及各類真空應用設備。普諾克擁有專業(yè)的技術人才和檢測設備，為各行業(yè)提供適用的真空系統(tǒng)設計和安裝，并針對個案設計，量身定造，為企業(yè)解決眾多真空應用方面的難題，深受用戶歡迎。